[发明专利]一种衬底及其回收再利用的方法在审
| 申请号： | 201410050546.8 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103779461A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 廉鹏;李有群 | 申请（专利权）人： | 马鞍山太时芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/48;H01L33/60;H01L33/64;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种衬底及其回收再利用的方法，其中一种能够回收再利用的衬底，包括：生长衬底和预置转换层，所述预置转换层能够将所述生长衬底转换为反射衬底；其中一种衬底进行回收再利用的方法，包括以下步骤：所述生长衬底依次外延生长所述预置转换层和所述功能层，利用腐蚀液选择性消除所述预置转换层，所得的所述生长衬底经过表面处理步骤之后，进行再利用，所得的所述功能层经过表面处理步骤之后，通过沉积、光刻、刻蚀和蒸镀制备介质层和银镜，通过电镀方式制备铜衬底。本发明的生长衬底可以重复利用，节省成本；同时生长衬底的As不会带入后续工艺流程，降低工业废水的污染治理成本，使得其具有明显的技术先进性和良好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 及其 回收 再利用 方法 | ||
【主权项】：
一种能够回收再利用的衬底，其特征在于，包括：生长衬底；预置转换层；所述预置转换层能够将所述生长衬底转换为反射衬底。
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