[发明专利]用于倾斜铣削保护的体沉积在审
| 申请号： | 201380063847.8 | 申请日： | 2013-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN104822482A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | S.斯通;S.H.李;J.布莱克伍德;M.施米德特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | B23K15/08 | 分类号： | B23K15/08;B23K15/00;C23F4/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;胡莉莉 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 为了减少通过聚焦离子束暴露以供查看的表面中的伪像，靠近感兴趣的区域铣削沟槽，并且填充沟槽以创建隔板。离子束被引导通过隔板以暴露感兴趣的区域的一部分以供查看。沟槽例如是通过带电粒子束感应沉积来填充的。沟槽典型地被自顶向下铣削和填充，并且然后，离子束关于样本表面成角度以暴露感兴趣的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 倾斜 铣削 保护 沉积 | ||
【主权项】：
一种使用带电粒子束暴露感兴趣的特征的方法，包括：铣削邻近于感兴趣的特征的沟槽；使用射束感应沉积给沟槽填充材料；从要求铣削通过所沉积的材料的角度引导离子束以暴露感兴趣的特征；以及观察所暴露的感兴趣的特征。
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