[发明专利]研磨用组合物和基板的制造方法有效
| 申请号： | 201380045596.0 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104603227B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 土屋公亮;高桥修平 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 研磨用组合物含有重均分子量为1000000以下、且用重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)表示的分子量分布不足5.0的水溶性高分子。该研磨用组合物主要用于研磨基板的用途，优选为对基板进行最终研磨的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其特征在于，其含有重均分子量为1000000以下、且用重均分子量Mw/数均分子量Mn表示的分子量分布不足5.0的水溶性高分子，所述水溶性高分子包含选自纤维素衍生物、淀粉衍生物、聚乙烯醇、具有聚乙烯醇结构的聚合物、具有聚氧亚烷基结构的聚合物、以及主链或侧链官能团中具有氮原子的聚合物的至少一种，所述水溶性高分子为选自纤维素衍生物和淀粉衍生物的至少一种时，其分子量分布为2.0～4.7，所述水溶性高分子为选自聚乙烯醇和具有聚乙烯醇结构的聚合物的至少一种时，其分子量分布为1.05～3.0，所述水溶性高分子为具有聚氧亚烷基结构的聚合物时，其分子量分布为1.05～2.0，所述水溶性高分子为主链或侧链官能团中具有氮原子的聚合物时，其分子量分布为1.05～4.0。
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