[实用新型]一种高速直调V型耦合腔可调谐半导体激光器

摘要

本实用新型公开了一种高速直调V型耦合腔可调谐半导体激光器。包括半波耦合器、波长参考FP谐振腔和波长调谐FP谐振腔；波长参考FP谐振腔由短腔有源波导和短腔无源波导串接构成，波长调谐FP谐振腔由长腔有源波导和长腔无源波导串接构成；短腔有源波导与短腔无源波导的光学长度比例等于长腔有源波导与长腔无源波导的光学长度比例，这样激光器在高速直接调制时，不会跳模。该激光器还可以进一步包含在半波耦合器顶部增加的一段薄膜电阻来增大调谐范围；包含腔外增加的两段有源波导和深刻蚀槽来减小激光器阈值，并提供片上集成的光功率计。本实用新型可以覆盖C波段甚至更大范围的调谐，并对每个通信波长实现10Gbps以上的直接调制性能。

主权项

一种高速直调V型耦合腔可调谐半导体激光器，包括半波耦合器（1）、波长参考FP谐振腔和波长调谐FP谐振腔；其特征在于：所述波长参考FP谐振腔（2）由短腔有源波导（101）和短腔无源波导（103）串接构成，波长调谐FP谐振腔（3）由长腔有源波导（102）和长腔无源波导（104）串接构成；短腔有源波导（101）与短腔无源波导（103）的光学长度比例等于长腔有源波导（102）与长腔无源波导（104）的光学长度比例；短腔有源波导（101）和长腔有源波导（102）上设置有调制信号电极（121），长腔无源波导（104）上设置有波长调谐电极（123）。