[实用新型]蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘有效
| 申请号： | 201320489293.5 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN203418417U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡武吉;赵国梁;邱冠华 | 申请（专利权）人： | 元鸿（山东）光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘，由凸台、凹槽、导流槽、弹性垫片、导流孔、陶瓷盘体组成，其特征是陶瓷盘体的上端四周设置凸台，凸台的两侧分别设置导流孔，陶瓷盘体的上端凸台的内侧设置凹槽，凹槽的一侧设置导流槽，凹槽的底部设置弹性垫片，本实用新型的有益效果是蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘不需胶接固定模具，晶体片材固定牢固，研磨抛光工艺简便，并可有效提高晶体片材研磨抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 材料 精密 抛光 夹持 陶瓷 | ||
【主权项】：
蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘，由凸台（1）、凹槽（2）、导流槽（3）、弹性垫片（4）、导流孔（5）、陶瓷盘体（6）组成，其特征是陶瓷盘体（6）的上端四周设置凸台（1），凸台（1）的两侧分别设置导流孔（5），陶瓷盘体（6）的上端凸台（1）的内侧设置凹槽（2），凹槽（2）的一侧设置导流槽（3），凹槽（2）的底部设置弹性垫片（4）。
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