[实用新型]绝缘栅双极型晶体管

摘要

实用新型提供了一种绝缘栅双极型晶体管，包括：第一基区，具有第二导电类型；源区，具有不同于第二导电类型的第一导电类型并与第一基区形成第一pn结；漂移区，具有第一导电类型并与第一基区形成第二pn结；集电区，具有第二导电类型；至少一个沟槽，其中，至少一个沟槽由栅电极填充，至少一个沟槽具有第一沟槽部和第二沟槽部，第一沟槽部具有第一宽度，第二沟槽部具有第二宽度，第二宽度与第一宽度不同；以及场终止区，具有第一导电类型，位于漂移区和集电区之间并与集电区形成第三pn结，其中，场终止区包括深能级第一导电类型掺杂区。场终止区具有深能级掺杂区，可以保证在绝缘栅双极型晶体管断开期间功率损耗降低也能够获得良好的短路鲁棒性。

主权项

一种绝缘栅双极型晶体管，包括半导体本体，其特征在于，包括： 第一基区，具有第二导电类型； 源区，具有不同于所述第二导电类型的第一导电类型并与所述第一基区形成第一pn结； 漂移区，具有不同于所述第二导电类型的第一导电类型并与所述第一基区形成第二pn结； 集电区，具有与所述第一导电类型不同的第二导电类型； 至少一个沟槽，其中，所述至少一个沟槽由栅电极填充，并且其中，所述至少一个沟槽具有第一沟槽部和第二沟槽部，所述第一沟槽部具有第一宽度，所述第二沟槽部具有第二宽度，所述第二宽度与所述第一宽度不同；以及 场终止区，具有所述第一导电类型，位于所述漂移区和所述集电区之间并与所述集电区形成第三pn结， 其中，所述场终止区包括深能级第一导电类型掺杂区。