[实用新型]一种半导体硅片导片器有效
| 申请号： | 201320128835.6 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN203179847U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄福仁;杨忠武 | 申请（专利权）人： | 福建省安特半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 351100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体硅片导片器，包括两个对称设置的第一限位块体和第二限位块体，所述第一限位块体上垂直设置有一导片板；所述第一限位块体和第二限位块体之间架设有至少两个导向杆，所述两个导向杆上套设有至少两个滑动片，且滑动片纵向套设于导向杆上，所述两滑动片的左、右两侧壁均垂直架设有一支撑板，且两滑动片上架设有一底板，该底板与所述支撑板固定连接；所述底板的端部垂直向上延伸有一第一限位座，该第一限位座上开设有一用于穿过所述导片板的开口。本实用新型可以将一硅片花篮上的多个硅片一次性地转移到另一个硅片花篮上，从而提高了工作效率，而且在转移硅片的过程中，不会造成硅片的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 硅片 导片器 | ||
【主权项】：
一种半导体硅片导片器，其特征在于：包括两个对称设置的第一限位块体和第二限位块体，所述第一限位块体上垂直设置有一导片板；所述第一限位块体和第二限位块体之间架设有至少两个导向杆，所述两个导向杆上套设有至少两个滑动片，且滑动片纵向套设于导向杆上，所述两滑动片的左、右两侧壁均垂直架设有一支撑板，且两滑动片上架设有一底板，该底板与所述支撑板固定连接；所述底板的端部垂直向上延伸有一第一限位座，该第一限位座上开设有一用于穿过所述导片板的开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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