[实用新型]一种离子镀枪靶材底座盘

权利要求书

1.一种离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，包括：离子镀枪底盘紧固板、靶材底柱绝缘套、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘绝缘盘、密封圈、绝缘套盘，具体结构如下：

靶材底柱绝缘套的外侧设置离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘的一侧设置离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘紧固板通过靶材底柱绝缘套上的绝缘套盘与离子镀枪底盘隔开，绝缘套盘下部与离子镀枪底盘紧固板接触，绝缘套盘上部与离子镀枪底盘接触，通过密封圈形成密封，离子镀枪底盘的另一侧设置离子镀枪底盘绝缘盘。

2.按照权利要求1所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，靶材底柱绝缘套设置于离子镀枪装置的靶材底柱外侧。

3.按照权利要求1所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘紧固板为一带中心圆孔的不锈钢盘，其中心孔直径与靶材底柱绝缘套外径一致，离子镀枪底盘紧固板围套在靶材底柱绝缘套上，离子镀枪底盘紧固板上部与绝缘套盘下面紧密接触。

4.按照权利要求3所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘紧固板靠近边缘设置有离子镀枪底盘紧固板安装孔，离子镀枪底盘紧固板安装孔与离子镀枪底盘下部螺纹孔相对应， 通过该离子镀枪底盘紧固板安装孔，绝缘套盘紧固在离子镀枪底盘与离子镀枪底盘紧固板之间。

5.按照权利要求3所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘紧固板上部与绝缘套盘接触面上设有离子镀枪底盘紧固板密封槽，通过离子镀枪底盘紧固板密封槽内密封圈与绝缘套盘之间紧密接触形成密封。

6.按照权利要求1所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘为一带中心圆孔的具有一定厚度的不锈钢盘，底盘外尺寸与真空室上的炉体法兰尺寸一致，中心孔直径与靶材底柱绝缘套外径一致，离子镀枪底盘围套在靶材底柱绝缘套上，离子镀枪底盘下部与靶材底柱绝缘套的绝缘套盘上面紧密接触。

7.按照权利要求6所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘靠近边缘设置有离子镀枪底盘安装孔，离子镀枪底盘安装孔与真空室上的炉体法兰安装孔相对应，通过该离子镀枪底盘安装孔，离子镀枪装置安装在真空室上。

8.按照权利要求6所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘上开有离子镀枪底盘上密封槽，离子镀枪底盘上密封槽中安装密封圈，离子镀枪底盘通过所述密封圈与真空室密封；离子镀枪底盘下部靠近中心孔设有离子镀枪底盘下密封槽，离子镀枪底盘下密封槽外径小于靶材底柱绝缘套的绝缘套盘外径，通过槽内密封圈与靶材底柱绝缘盘之间紧密接触形成密封。

9.按照权利要求6所述的离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，离子镀枪底盘靠近密封槽附近设置有螺纹孔，螺纹孔内边缘大于绝缘套盘外径，通过该螺纹孔与离子镀枪底盘紧固板进行连接，绝缘套盘紧固在离子镀枪底盘与离子镀枪底盘紧固板之间。