[发明专利]晶圆CMP加工信息管理系统

摘要

本发明提出一种晶圆CMP加工信息管理系统，用于科学地管理每一片晶圆的CMP加工信息，方便工艺人员登录和访问数据库，包括：客户端，用于向服务器端发出访问请求建立连接并要求各项服务；以及服务器端，用于响应客户端的访问请求与客户端建立连接，并提供服务。客户端运行在上位机IPC中。服务器端，利用MySQL数据库管理系统建立数据库，用于记录和保存被提交的数据。数据库中，根据晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称等主要字段，建立一系列完整的晶圆CMP加工信息数据表格。对于MySQL数据库的访问方法，本发明利用Qt的数据库访问接口，自行编译MySQL数据库驱动。数据库登陆成功后，客户端使用标准的SQL来对数据库进行操作。

主权项

一种晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，包括：客户端，用于向服务器端发出访问请求建立连接，并要求服务器端提供服务；以及服务器端，用于响应所述访问请求与所述客户端建立连接，并提供服务，所述客户端通过所述服务器端登录和访问数据库，以对所述数据库中的晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。