[发明专利]探针型压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201310668841.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104713670B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 樊英民;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;黄增立;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/25 | 分类号： | G01L1/25 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于，其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感，且获得更高的灵敏度和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种探针型压力传感器，其特征在于，包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化，所述探针具有一针尖，所述针尖的高度为在1微米～l毫米，所述针尖的曲率半径为10纳米～100微米。
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