[发明专利]一种LED标准方片及其制作方法

摘要

本发明提供一种LED标准方片及其制作方法，该标准方片包括胶膜，胶膜上设置多个晶粒，所述晶粒选自具有相同衬底、相同磊晶工艺的外延结构、相同芯片制造工艺的LED晶圆片，所述LED晶圆片的波长的标准差6≥λstd≥3、光强IV标准差IVstd≤8；所述多个晶粒划分为n个BIN，按照以下分组规则对n个BIN进行分组：至少1个BIN构成一组BIN，构成该组BIN的任意晶粒的光强符合范围IV.avg×(0.95～1.10)。本发明提升了LED晶圆片测试机校正的精准度和可靠度，同时在一定程度上改善了测试机校正或监控作业的效果、效率和成本。

主权项

一种LED标准方片，其特征在于：包括胶膜，胶膜上设置多个晶粒，所述晶粒选自具有相同衬底、相同磊晶工艺的外延结构、相同芯片制造工艺的LED晶圆片，所述LED晶圆片的波长的标准差6≥λstd≥3、光强IV标准差IVstd≤8；所述晶粒的漏电流Ir的最大值均相等、顺向电压Vf的最小值均相等、顺向电压Vf的最大值均相等；所述多个晶粒按波长划分为n个BIN，分别为BIN1、BIN2、…、BINn，n为大于或等于10的自然数且小于或等于分选设备最大可分类数；BIN1、BIN2、…、BINn在胶膜上由左向右依次排布，每个BIN有I列M排；BIN1中任意晶粒的波长为λ1，BIN2中任意晶粒的波长为λ2，…、BINn中任意晶粒的波长为λn；λ1、λ2、…、λn符合以下条件：x≤λ1＜x+a，x+a≤λ2＜x+2a，…，x+(n‑1)a≤λn＜x+na，其中，445nm≤x≤450nm，0.1nm≤a≤2.0nm；按照以下分组规则对n个BIN进行分组：至少1个BIN构成一组BIN，第一组BIN中任意晶粒的光强为IV1、第二组BIN中任意晶粒的光强为IV2、…、第t组BIN中任意晶粒的光强为IVt，t为正整数；IV1、IV2、…、IVt符合以下条件：IV1.avg×0.95≤IV1＜IV1.avg×1.10，IV2.avg×0.95≤IV2＜IV2.avg×1.10，…、IVt.avg×0.95≤IVt＜IVt.avg×1.10；其中，IV1.avg为第一组BIN中所有晶粒的光强均值，IV2.avg为第二组BIN中所有晶粒的光强均值，…，IVt.avg为第t组BIN中所有晶粒的光强均值；各个BIN排布的最大列数Imax＝分选设备置晶行程/Bw/n、排布的最大排数Mmax＝分选设备置晶行程/Bl；Bw为标准方片横向上相邻的两个晶粒同一侧长边的间距，B1为标准方片纵向上相邻的两个晶粒同一侧短边的间距。