[发明专利]基底传送设备和基底加工设备有效
| 申请号： | 201310572302.1 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103811386A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 沈亨基;金贤中;安珍荣;车恩熙 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司;三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市东滩面东部大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基底传送设备以及一种基底加工设备，且更确切地说，涉及一种基底加工设备，其中当基底进行加工时，通过传送基底而使薄膜结晶于基底上。基底传送设备包含：通过空气轴承滑动的传送台；以及围绕空气轴承的吸收器，用来吸收从空气轴承喷射出之后折回的空气。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 传送 设备 加工 | ||
【主权项】：
一种基底传送设备，其包括：通过空气轴承滑动的传送台；以及围绕所述空气轴承的吸收器，用来吸收从所述空气轴承喷射出之后折回的空气。
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