[发明专利]一种五腔体全自动电子束沉积系统在审
| 申请号： | 201310567063.0 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630718A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 赵崇凌;赵科新;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体为一种五腔体全自动电子束沉积系统。包括抽气系统和五个腔体，所述五个腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，各腔体均与抽气系统连接。所述装载腔I和装载腔II与工艺腔之间设有真空锁闭系统。所述装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有样品载板。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺腔的工艺过程与装载腔I，装载腔II取放样品载板同时进行，并且除工艺腔门，装载腔I，装载腔II门在洁净间以外其他的部分都可以放到普通环境中，使成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 五腔体 全自动 电子束 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种五腔体全自动电子束沉积系统，其特征在于：包括抽气系统和五个腔体，所述五个腔体包括依次相连通的传输腔I(1)、装载腔I(3)、工艺腔(5)、装载腔II(8)及传输腔II(10)，各腔体均与抽气系统连接。
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