[发明专利]一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201310544722.9 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104630725A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王德生;胡明;杨军;刘维民;翁立军;孙嘉奕;伏彦龙;高晓明;姜栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法。薄膜具有4层结构，从基体材料表面到多层薄膜表面，多层薄膜依次为Ti层、非晶Si层、致密Ti层和TiN层。该薄膜同时具有10GPa以上的硬度和良好的耐腐蚀防护性能。通过加入非晶Si层以及致密Ti层，避免形成贯穿多层薄膜的针孔、微裂纹等组织缺陷，较好地解决了传统TiN薄膜耐腐蚀防护性能差的缺点。该多层薄膜易锈蚀基体材料表面的抗磨损耐腐蚀防护。同时，该薄膜也适用于盐雾、高湿热等易于造成腐蚀侵害的环境条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tin ti si 多层 耐磨 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料，其特征在于薄膜材料由Ti、Si和N三种元素构成，薄膜呈现出共4层的多层结构，从基体材料表面到多层薄膜表面，多层薄膜依次为Ti层、非晶Si层、致密Ti层和TiN层；所述的金属基体材料选自碳钢或合金钢。
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