[发明专利]用于激光束和带电粒子束的重合对准的方法

摘要

一种用于将激光束对准成与带电粒子束重合的方法和装置。所述发明提供了一种用于对准激光束穿过物镜的中心并最终瞄准多束系统的共心点的方法。该装置利用了定位于带电粒子系统的真空室内或外的激光束对准系统的部件。

主权项

一种多束系统，包括：真空室；用于支撑该真空室内的工件的工件支座；用于生成带电粒子束的带电粒子束系统，所述束被引导向该工件；用于生成激光束至所述带电粒子束系统的共心点从而加工该真空室内的工件的激光束系统；用于对准所述激光束的激光束对准系统，所述激光束对准系统包括：在所述真空室内的第一激光束对准检测器；在所述真空室外的第二激光束对准检测器；耦合至所述第一激光束对准检测器的第一束倾斜反射镜；耦合至所述第二激光束对准检测器的第二束倾斜反射镜；第一束倾斜控制器，该第一束倾斜控制器响应于该第一激光束对准检测器检测到的位置信号并引导该第一束倾斜反射镜以将所述激光束移动向第一位置；以及第二束倾斜控制器，该第二束倾斜控制器响应于该第二激光束对准检测器检测到的位置信号并引导该第二束倾斜反射镜以将该激光束移动向第二位置；以及其中，该第一位置和第二位置与所述带电粒子束系统的共心点对准。