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[发明专利]重叠偏移量算出系统及方法-CN202311143435.7在审
发明人：山本琢磨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种重叠偏移量算出系统及方法，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。重叠偏移量算出系统具备控制部，根据通过向试料照射带电粒子束而得到的图像算出图案间的重叠偏移量，基于与第一模板图像的匹配，根据包括位于试料的表面的第一图案的图像的第一图像，决定第一图案的第一位置，基于与第二模板图像的匹配，根据包括位于比试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像，决定第二图案的第二位置，基于所决定的第一位置调整第一图像中的第一测定区的位置，基于所决定的第二位置调整第二图像中的第二测定区的位置，按照第一、第二测定区的位置调整结果，算出第一、第二图案间的重叠偏移量。
重叠偏移量算出系统方法

[发明专利]带电粒子束装置-CN202180090871.5在审
发明人：寺尾奈浦;横须贺俊之;小辻秀幸;中野智仁;川野源 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种带电粒子束装置，其能够确定不调整加速电压就能够得到期望的带电状态的一次带电粒子的照射条件。本发明的带电粒子束装置确定试样的带电状态在带正电与带负电之间调换的带电粒子束的照射条件，根据确定的所述照射条件与取得试样的观察图像时的所述照射条件之间的关系，调整所述照射条件(参照图8)。
带电粒子束装置

[发明专利]时间解析阴极发光样本探测-CN202180054184.8在审
发明人： C·莫纳肖恩;M·J·戴维斯;F·古纳德 -专利权人：阿托莱特股份公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：通过在具有电子束和光传感器的阴极发光(CL)显微镜中产生时间序列的射线以研究样本的方法。在探索扫描中，由电子束引起的变化是未知的，而在检查扫描中，类似样本的变化已经被识别。如此开始探索扫描：设置电子束的参数，从而以第一剂量率进行辐射；清空光传感器的缓冲器；对样本的待检测的区域扫描电子束，同时用光传感器收集CL射线，以及同时防止从缓冲存储器读取任何数据，直到整个扫描完成；一旦整个扫描完成，遮蔽电子束，并且询问缓冲器以识别第一CL图像；然后询问缓冲器以提取所有剩余的CL图像，并以第一个CL影像的时间为始，按照时间顺序标记所有被提取的CL影像。
时间解析阴极发光样本探测

[发明专利]带电粒子束装置-CN202010193732.2有效
发明人：山本琢磨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：提供一种带电粒子束装置，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。该带电粒子束装置具备：带电粒子束照射部，向试料照射带电粒子束；第一检测器，对来自所述试料的二次电子进行检测；第二检测器，对来自所述试料的反射电子进行检测；和图像处理部，基于所述第一检测器的输出，生成包括位于所述试料的表面的第一图案的图像的第一图像，且基于所述第二检测器的输出，生成包括位于比所述试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像。控制部基于针对所述第一图像的第一模板图像，调整所述第一图像中的测定区的位置，且基于针对所述第二图像的第二模板图像，调整所述第二图像中的测定区的位置。
带电粒子束装置

[发明专利]对在电子显微镜下研究的样品的漂移校正的自动化应用-CN202310309256.X在审
发明人： F·S·沃尔登二世;J·小达米亚诺;D·P·娜茨卡希;D·S·加尔迪内;M·于贝尔;A·P·弗兰克斯;B·雅各布斯 -专利权人：普罗托芯片有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种配置成在电子显微镜环境中进行样品跟踪的控制系统。该控制系统对与位于利用电子显微镜观察的样品的活动区域内的受关注区域相关联的移动进行配准。被配准的移动包括至少一个方向分量。受关注区域位于电子显微镜的视场内。该控制系统指示对电子显微镜控制组件进行调整，以对通过电子显微镜观察的受关注区域的画面进行动态居中和/或动态聚焦。该调整包括对大小要素和/或方向要素的调整。
电子显微镜研究样品漂移校正自动化应用

[发明专利]扫描电子显微镜系统和图案的深度测量方法-CN201980022948.8有效
发明人：西畑贵博;大崎真由香;山本琢磨;滨口晶;饭田悠介 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2019-04-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明的扫描电子显微镜系统具备：初级电子线照射单元，其向具有在第一图案的周边区域形成的第二图案的基板的第一图案照射初级电子线；检测单元，其检测从被初级电子线照射单元照射了初级电子线的基板释放的后方散射电子；图像生成单元，其生成与通过检测单元检测出的后方散射电子的强度对应的电子线图像；指定单元，其在通过图像生成单元生成的电子线图像上，指定存在第一图案的深度测量区域；处理单元，其求出深度测量区域的图像信号、存在第二图案的上述周边区域内的图案密度，根据该求出的深度测量区域的图像信号和周边区域内的图案密度来推定深度测量区域内的第一图案的深度。
扫描电子显微镜系统图案深度测量方法

[实用新型]一种快速成像系统以及透射电子显微镜-CN202222715104.3有效
发明人：周天艺;陈福荣;钟虓;薛又峻;陈岩 -专利权人：香港城市大学深圳福田研究院
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速成像系统以及透射电子显微镜，成像系统包括沿Z轴方向依次同轴布设的发射单元、磁透镜、静电偏转器以及成像单元；所述发射单元用于发射电子；所述磁透镜用于将入射的电子束以平行光束的形式出射；所述静电偏转器包括多对相互平行的偏转板，所有所述偏转板组合形成供平行光束穿过的通道，且每个所述偏转板连接有单独用于驱动所述偏转板的驱动电路，用于在XY方向上改变通过所述通道的电子束的离轴距离；所述成像单元正对所述通道，用于观察经所述通道出射的电子束斑的位置。本实用新型可以提升透射电子显微镜的成像能力，在保持空间分辨率不变的情况下提升了时间分辨率。
一种快速成像系统以及透射电子显微镜

[发明专利]解析系统-CN202080105369.2在审
发明人：金野杏彩;设乐宗史;藤村一郎;切畑大二;三濑大海 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明的目的在于迅速且高精度地取得多层构造的深度信息。解析系统具备如下步骤：(a)从第一方向对包含多层构造的试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第一方向观察到的试样(SAM)的第一拍摄像；(b)从与第一方向交叉的第二方向对试样SAM照射电子束(EB1)，由此取得从第二方向观察到的试样(SAM)的第二拍摄像；(c)使用第一拍摄像、第二拍摄像、以及包含多层构造的层数、多层构造的1层的厚度或各层的厚度、多层构造的第一层起始的深度的试样(SAM)的信息，取得多层构造的深度信息。
解析系统

[发明专利]画质改善系统及画质改善方法-CN202080105370.5在审
发明人：石川昌义;小松壮太;丰田康隆;筱田伸一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：提供一种在通过机器学习来进行低画质图像的画质改善的画质改善系统以及画质改善方法中，对于每次拍摄时图像容易变化的试样，也能够以适当的示教信息进行学习的高精度且高可靠性的画质改善系统以及画质改善方法。一种画质改善系统，其进行低画质图像的画质改善，其具备：画质改善部，其进行低画质图像的画质改善；变形预测部，其预测在所输入的低画质图像列中包含的第一低画质图像和与所述第一低画质图像不同的第二低画质图像之间产生的变形量；以及变形修正部，其基于由所述变形预测部预测出的所述变形量来修正对所述第一低画质图像应用所述画质改善部的处理而得到的第一预测图像、所述第二低画质图像、以及对所述第二低画质图像应用所述画质改善部的处理而得到的第二预测图像中的任意一个，进行学习使得所述变形修正部修正后的所述第一预测图像与所述第二低画质图像或所述第二预测图像的损失函数的评价变小，或者使得所述第一预测图像与所述变形修正部修正后的所述第二低画质图像或所述第二预测图像的损失函数的评价变小。
画质改善系统方法

[发明专利]用于使光束对准至带电粒子束的方法-CN201810744936.3有效
发明人： C.J.扎赫雷森;D.蒂默曼;M.托思;J.费列维奇;S.兰多尔夫;A.P.J.M.博特曼 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。
用于光束对准带电粒子束方法

[发明专利]对在电子显微镜下研究的样品的漂移校正的自动化应用-CN202080040044.0有效
发明人： F·S·沃尔登二世;J·小达米亚诺;D·P·娜茨卡希;D·S·加尔迪内;M·于贝尔;A·P·弗兰克斯;B·雅各布斯 -专利权人：普罗托芯片有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种配置成在电子显微镜环境中进行样品跟踪的控制系统。该控制系统对与位于利用电子显微镜观察的样品的活动区域内的受关注区域相关联的移动进行配准。被配准的移动包括至少一个方向分量。受关注区域位于电子显微镜的视场内。该控制系统指示对电子显微镜控制组件进行调整，以对通过电子显微镜观察的受关注区域的画面进行动态居中和/或动态聚焦。该调整包括对大小要素和/或方向要素的调整。
电子显微镜研究样品漂移校正自动化应用

[发明专利]带电粒子束装置-CN201780097868.X有效
发明人：神波弘树;板桥洋宪;藤村一郎 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：为了在计算帧累积图像之前将试样表面的带电量控制为所希望的值，本发明具备：带电粒子束源(103)，向试样照射带电粒子束；偏转器(111)，在上述试样的观察区域扫描上述带电粒子束；检测器(112)，检测通过上述带电粒子束的扫描从上述试样释放的带电粒子；图像生成部(102)，基于从上述检测器输出的观测信号生成上述观察区域的帧图像；以及扫描暂停时间设定部(608)，设定扫描暂停时间，该扫描暂停时间是在生成帧图像后使上述观察区域中的上述带电粒子束的扫描暂停的时间，上述图像生成部通过对间隔上述扫描暂停时间生成的帧图像进行累积来计算帧累积图像。
带电粒子束装置

[发明专利]用于透射电子显微镜阴极发光的装置-CN202180033537.6在审
发明人： J·A·亨特;M·贝蒂尔松 -专利权人：加坦公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：描述了用于收集从暴露于电子束的样品发射的上游和下游透射电子显微镜(TEM)阴极发光(CL)的装置。第一光纤线缆承载从第一TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第一CL光。第二光纤线缆承载从第二TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第二CL光。第一和第二光纤线缆被定位成使得摄谱仪产生用于第一光纤线缆的第一光谱和用于第二光纤线缆的分离的光谱。所描述的实施例允许以允许使用成像摄谱仪分别和同时地分析上游和下游TEM CL信号的方式收集TEM CL数据。
用于透射电子显微镜阴极发光装置

[发明专利]一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源-CN202211165744.X在审
发明人：宁中喜;王璐;朱悉铭;韩傲;赵东兴 -专利权人：哈尔滨工业大学;上海易推动力科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种具有透光间隙的辉光阴极等离子源，属于等离子体放电领域，本发明为解决现有辉光放电设备无法实现光学监测的问题。它包括：触持极、石英玻璃和电子引出极的前端旋切有运输等离子体的孔；阴极侧壁面的上端开有“C”形缝隙，触持极侧壁面的上端开有第一“L”形缝隙，电子引出极侧壁面的上端开有第二“L”形缝隙；工质气体通过进气管进入阴极包围的腔室中；阴极通过外接的接线柱施加负电位，触持极通过外接的接线柱施加正高压电位，工质气体在真空环境下被击穿产生等离子体；光学监测器通过“C”形缝隙、第一“L”形缝隙、第二“L”形缝隙和石英玻璃对产生的等离子体进行监测。本发明用于辉光放电等离子体源。
一种具有透光间隙辉光阴极离子源

[发明专利]带电粒子射线装置、计算机可读记录介质-CN201880061280.3有效
发明人：横须贺俊之;川野源;黑泽浩一;数见秀之;李灿 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。
带电粒子射线装置计算机可读记录介质

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