[发明专利]带电粒子束调制系统和方法在审
申请号: | 201880077222.X | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN111418040A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | E·沙克德;M·G·M·J·玛森 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01J37/28 | 分类号: | H01J37/28;H01J37/04;H01J37/244 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑振 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了用于进行带电粒子束调制的系统和方法。根据某些实施例,一种带电粒子束装置(510)生成多个带电粒子束。调制器(800)被配置为接收多个带电粒子束并且生成多个经调制的带电粒子束。检测器(541)被配置为接收多个经调制的带电粒子束。 | ||
搜索关键词: | 带电 粒子束 调制 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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