[发明专利]铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜及其制备方法和电致发光器件

摘要

本发明涉及一种铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜及其制备方法和电致发光器件，所述发光薄膜的化学通式为MZr_4-x-yB₁₀O₂₄：xEu³⁺，yTb³⁺；其中：MZr₄B₁₀O₂₄是基质，Eu、Tb是激活元素；x的取值范围为0.02~0.1，y的取值范围为0.01~0.04；M为Ca、Ba或Sr。本发明采用磁控溅射设备制备铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜，所述铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜在610nm和510nm位置有很强的发光峰，具有良好的发光性能。所述铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜的硼酸根与稀土元素的比例稳定，容易控制而便于制备。

主权项

一种铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜，其特征在于，其化学通式为MZr_4‑x‑yB₁₀O₂₄：xEu³⁺，yTb³⁺；其中：MZr₄B₁₀O₂₄是基质，Eu³⁺和Tb³⁺是发光离子；x的取值范围为0.02~0.1，y的取值范围为0.01~0.04；M为Ca、Ba或Sr。