[发明专利]离子源器件和方法有效
| 申请号： | 201310368729.X | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103632911B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | F.格宾 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;C23C14/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谢攀;刘春元 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 离子源器件和方法。离子源包括定义用于离子化的内部空腔的腔室，在内部空腔的第一端的电子束源，用于将可离子化的气体引入腔室的入口，以及用于从腔室中提取离子的弧形裂隙。所述腔室包括导电陶瓷。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 器件 方法 | ||
【主权项】：
一种离子源，包括：定义用于离子化的内部空腔的腔室；在包括至少一个电极的内部空腔的第一端的电子束源；用于将可离子化的气体引入腔室的入口；以及用于从腔室中提取离子的弧形裂隙；其中所述腔室包括导电陶瓷，用于降低所述腔室的剥离和剥离材料在所述电极上的随后的沉积。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310368729.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于日光温室补光的后屋面可调反光幕装置
- 下一篇：企鹅混合型开瓶器
