[发明专利]钨靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201310366627.4 | 申请日： | 2013-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104416325B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;龚祖光 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钨靶材的制作方法，包括提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨。本发明钨靶材的制作方法能够减少或避免钨靶材坯料在加工过程中出现掉角，得到尺寸精度高、表面粗糙度低、符合溅射性能的钨靶材；同时，还降低了钨靶材坯料加工过程中的刀具损耗，进而降低钨靶材的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 钨靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钨靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；在进行所述粗磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；在进行所述半精磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨；在进行所述粗磨之后且在进行所述半精磨之前，所述制作方法还包括：对所述钨靶材坯料进行线切割；所述金刚石砂轮的目数为120目～150目，所述金刚石砂轮转速为1000r/min至4000r/min，所述金刚石砂轮进给量为每次0.05mm以下，所述金刚石砂轮进给速度为300mm/min至800mm/min；进行所述粗磨时，所述金刚石砂轮的转速为1000r/min至2000r/min，进给量为每次0.02mm至0.05mm，进给速度为500mm/min至800mm/min。
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