[发明专利]钨靶材的制作方法

权利要求书

1.一种钨靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；

采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；

在进行所述粗磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；

在进行所述半精磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨；

在进行所述粗磨之后且在进行所述半精磨之前，所述制作方法还包括：对所述钨靶材坯料进行线切割；

所述金刚石砂轮的目数为120目～150目，所述金刚石砂轮转速为1000r/min至4000r/min，所述金刚石砂轮进给量为每次0.05mm以下，所述金刚石砂轮进给速度为300mm/min至800mm/min；

进行所述粗磨时，所述金刚石砂轮的转速为1000r/min至2000r/min，进给量为每次0.02mm至0.05mm，进给速度为500mm/min至800mm/min。

2.如权利要求1所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，进行所述半精磨时，所述金刚石砂轮的转速为1000r/min至2000r/min，进给量为每次0.01mm至0.02mm，进给速度为450mm/min至500mm/min。

3.如权利要求1所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，进行所述精磨时，所述金刚石砂轮的转速为3500r/min至4000r/min，进给量为每次0.01mm以下，进给速度为300mm/min至450mm/min。

4.如权利要求1所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，在进行所述粗磨、所述半精磨和所述精磨时，采用乳化液冷却所述金刚石砂轮和所述钨靶材坯料。

5.如权利要求1所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，在进行所述半精磨之后且在进行所述精磨之前，所述制作方法还包括：对所述背面进行镀镍处理。

6.如权利要求5所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，在进行所述精磨之后，所述制作方法还包括：将背板与所述背面焊接在一起。

7.如权利要求6所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，在将背板与所述背面焊接在一起之后，所述制作方法还包括：采用金刚石刀片对所述溅射面的边缘进行精加工，以在所述溅射面的边缘形成凹槽、斜面和圆弧中的一种或几种。

8.如权利要求7所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，所述金刚石刀片的转速为250r/min至350r/min，进给量为每次0.03mm至0.05mm，进给速度为0.04mm/min至0.06mm/min。

9.如权利要求6所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，在将背板与所述背面焊接在一起之后，所述制作方法还包括：采用金刚石刀片对所述背板进行半精加工，以在所述背板中形成凹槽和连接孔中的一种或者两种。

10.如权利要求9所述的钨靶材的制作方法，其特征在于，所述金刚石刀片的转速为180r/min至220r/min，进给量为每次0.05mm至0.08mm，进给速度为0.08mm/min至0.12mm/min。