[发明专利]测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括其的衬底加工装置有效

专利信息
申请号: 201310364896.7 申请日: 2013-08-20
公开(公告)号: CN103904005B 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 金晟换;金相洙;郑柄成;宋济铉;李泰勳;梁成元;金泰亨 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L51/56
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;杨莘
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 公开了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置,该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。该多功能装置包括:在一侧具有入口、另一侧具有出口的腔体,衬底通过入口被输入腔体并通过出口从腔体输出;传送单元,设置于腔体内,被配置为在从入口到出口的方向传送输入的衬底;激光刻蚀单元,设置于传送单元上方,被配置为刻蚀设置于传送单元上的衬底的一部分;以及测试单元,配置为测试设置于传送单元上的衬底。
搜索关键词: 衬底 多功能装置 传送单元 刻蚀 腔体 测试 配置 衬底处理装置 衬底加工装置 出口 测试单元 方向传送 激光刻蚀 空间效率 输入腔体 体内 输出 制造
【主权项】:
1.测试和刻蚀衬底的多功能装置,所述多功能装置包括:腔体,在一侧具有入口,另一侧具有出口,所述衬底通过所述入口被输入腔体并通过所述出口从腔体输出;传送单元,设置于所述腔体内,被配置为在从所述入口到所述出口的方向传送输入的衬底;激光刻蚀单元,设置于所述传送单元上方,被配置为刻蚀设置于所述传送单元上的所述衬底的一部分;测试单元,配置为测试设置于所述传送单元上的所述衬底;以及上下单元,配置为使得所述测试单元上下移动。
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