[发明专利]预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备有效
| 申请号： | 201310359048.7 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103884874B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 崔允赫;吴光宰;金国铉 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,李静 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备，预空间变换器包括基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及信号电极、功率电极、和接地电极，布置在第一表面上，其中，信号电极、功率电极、和接地电极在构造单元图案时重复地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 变换器 以及 半导体 装置 检查 设备 | ||
【主权项】：
一种预空间变换器，包括：基板，具有第一表面和第二表面，所述第二表面为与所述第一表面相对的表面；以及独立电极和共用电极，布置在所述第一表面上，其中，所述独立电极和所述共用电极构造成形成多个单元图案的列，其中，所述多个单元图案中的每个都包括所述独立电极中的至少一个以及所述共用电极中的至少一个。
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