[发明专利]一种在基体材料上沉积钽或铌的方法无效
| 申请号： | 201310358901.3 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN103556124A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 杨国启;孙本双;王东新;钟景明;李彬;罗文;吴红;李海军;岳坤;李军义;张丽;孙磊;白晓东;刘创红;刘兆刚;郑金凤;李娜;左婧懿 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/14 | 分类号： | C23C16/14 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在基体材料上沉积钽或铌的方法。其特点是，包括如下步骤：首先将NbCl5或TaCl5放入第一加热炉中升温至250℃-300℃成为气体，然后通入体积比2：1-2的氢气和氩气，一起进入放有基体材料的第二加热炉中进行反应，反应中控制氢气与NbCl5或TaCl5气体的流量比为2-5:1，加热到1000℃-1400℃进行反应，随着反应的进行，Nb或Ta粉末落在基体材料上与基体材料结合形成复合材料。本发明的优点在于工艺简单，并且特别适用于尺寸较小的容器及管、棒、带材等材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 材料 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种在基体材料上沉积钽或铌的方法，其特征在于，包括如下步骤：首先将NbCl5或TaCl5放入第一加热炉中升温至250℃‑300℃成为气体，然后通入体积比2：1‑2的氢气和氩气，一起进入放有基体材料的第二加热炉中进行反应，反应中控制氢气与NbCl5或TaCl5气体的流量比为2‑5:1，加热到1000℃‑1400℃进行反应，随着反应的进行，Nb或Ta粉末落在基体材料上与基体材料结合形成复合材料。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
