[发明专利]形成有机层的装置以及使用其制造有机发光显示器的方法

摘要

提供了一种形成有机层的装置以及使用该形成有机层的装置制造有机发光显示器的方法。所述有机层形成装置包括被构造为提供供体膜的供体膜供应部件。供体膜包括基体基板、设置在基体基板上的转移层和设置在转移层上的保护膜。所述装置还包括：保护膜撤回部件，被构造为从供体膜去除保护膜；转移印刷工艺部件，被构造为将供体膜的转移层转移到转移基板上以形成第一有机层；第一沉积部件，被构造为通过第一沉积工艺在转移基板上形成第二有机层；第二沉积部件，被构造为通过第二沉积工艺在转移基板上形成第三有机层；以及供体膜撤回部件，被构造为撤回供体膜。

主权项

一种用于形成有机层的装置，所述装置包括：供体膜供应部件，被构造为提供供体膜，供体膜包括基体基板、设置在基体基板上的转移层和设置在转移层上的保护膜；保护膜撤回部件，被构造为从供体膜去除保护膜；转移印刷工艺部件，被构造为将供体膜的转移层转移到转移基板上以形成第一有机层；第一沉积部件，被构造为通过第一沉积工艺在其上形成有第一有机层的转移基板上形成第二有机层；第二沉积部件，被构造为通过第二沉积工艺在其上形成有第二有机层的转移基板上形成第三有机层；以及供体膜撤回部件，被构造为撤回供体膜，其中，供体膜供应部件、保护膜撤回部件、转移印刷工艺部件、第一沉积部件、第二沉积部件和供体膜撤回部件依次布置为串联连接。