[发明专利]一种晶圆批量作业动态处理系统及其处理方法

摘要

本发明公开了一种晶圆批量作业动态处理系统，包括：批量作业组建模块，晶圆组集合模块，批量作业动态更新模块，批量作业状态判断模块，以及作业结果反馈模块。本发明还公开了一种晶圆批量作业动态处理方法，包括如下步骤：组建本次批量作业；将所述本次批量作业的晶圆组集合；判断所述本次批量作业的晶圆组集合完成状态和前次批量作业的完成状态；动态更新所述本次批量作业，直到所述前次批量作业完成；反馈所述前次批量作业的作业结果，使得所述本次批量作业开始或撤销。本发明通过批量作业的晶圆组可动态变化和前次批量作业的作业结果对本次批量作业能否开始作业的反馈控制，来实现批量作业设备的生产效率和良率的最大化。

主权项

一种晶圆批量作业动态处理系统，应用于半导体制造执行系统和设备自动化系统中，其特征在于，包括：批量作业组建模块，分别与所述批量作业组建模块相连的晶圆组集合模块、批量作业动态更新模块，与所述晶圆组集合模块相连的批量作业状态判断模块，以及分别与所述批量作业组建模块、所述批量作业状态判断模块相连的作业结果反馈模块；所述批量作业组建模块用于组建本次批量作业；所述晶圆组集合模块用于集合所述本次批量作业的晶圆组；所述批量作业状态判断模块用于判断本次批量作业的晶圆组集合完成状态和前次批量作业的完成状态；所述作业结果反馈模块用于在所述前次批量作业完成后，将所述前次批量作业的作业结果反馈给所述批量作业组建模块，使得所述本次批量作业开始或撤销；所述批量作业动态更新模块用于在所述前次批量作业完成前，动态更新所述批量作业组建模块组建的本次批量作业。