[发明专利]一种化学气相沉积方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积方法，以化学气相沉积系统进行化学气相沉积，化学气相沉积系统包括：化学气相沉积室，化学气相沉积室内设有发热体、隔热屏和与化学气相沉积室连通，且分散安装的多个喷嘴系统；真空系统，真空系统具有与多个喷嘴系统连通的真空管路，真空管路上设有真空开关阀；化学沉积气路系统，化学沉积气路系统具有与多个喷嘴系统连通的充气管路，充气管路上设有充气开关阀。本发明使用的化学气相沉积系统，设置有多个分散安装的喷嘴系统，即各个喷嘴系统并非安装在同一位置。同时设置了多个分别与多个喷嘴系统连接的真空管路和充气管路，能够有效的实现化学气相沉积产品均匀沉积，从而得到均匀材质的化学气相沉积成品。

主权项

一种化学气相沉积方法，以化学气相沉积系统进行化学气相沉积，其特征在于，所述化学气相沉积系统包括：化学气相沉积室，所述化学气相沉积室内设有发热体（11）、隔热屏（3）和与所述化学气相沉积室连通，且分散安装的多个喷嘴系统；真空系统，所述真空系统具有与多个所述喷嘴系统连通的真空管路，所述真空管路上设有真空开关阀；化学沉积气路系统，所述化学沉积气路系统具有与多个所述喷嘴系统连通的充气管路，所述充气管路上设有充气开关阀。