[发明专利]处理含有氯硅烷废液的方法和设备无效
| 申请号： | 201310305939.4 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103408023A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张升学;严大洲;杨永亮;万烨;肖荣晖 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C02F1/04;B01D53/78;B01D53/40 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种处理含有氯硅烷的废液的方法和设备。所述方法包括以下步骤：将所述含有氯硅烷的废液进行蒸发处理，以便获得氯硅烷蒸汽和蒸发后液；将所述氯硅烷蒸汽进行冷凝处理，以便获得液体氯硅烷；将所述蒸发后液进行干燥处理，以便获得干燥残渣；将所述干燥残渣进行中和处理，以便获得酸性废气和中和废水；利用碱性淋洗液对所述酸性废气进行淋洗，以便获得淋洗后液；以及将所述中和废水进行脱水处理，以便获得中和废渣。由此，不仅可以从废液中有效回收氯硅烷，从而降低了多晶硅生产物耗；同时利用沸点的不同通过蒸发将氯硅烷与细微粉尘和金属化合物杂质进行了分离，从而避免了后续处理的管道堵塞和有毒物质外排的环境污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 含有 硅烷 废液 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种处理含有氯硅烷废液的方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述含有氯硅烷废液进行蒸发处理，以便获得氯硅烷蒸汽和蒸发后液；将所述氯硅烷蒸汽进行冷凝处理，以便获得液体氯硅烷；将所述蒸发后液进行干燥处理，以便获得干燥残渣；将所述干燥残渣进行中和处理，以便获得酸性废气和中和废水；利用碱性淋洗液对所述酸性废气进行淋洗，以便获得淋洗后液；以及将所述中和废水进行脱水处理，以便获得中和废渣。
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