[发明专利]一种提高大功率GaN基LED发光效率的外延结构及生长方法有效
申请号: | 201310180368.6 | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN103247729A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 郭丽彬;蒋利民;刘仁锁;杨奎;吴礼清 | 申请(专利权)人: | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/30;H01L33/00 |
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地址: | 230011 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开一种提高大功率GaN基LED发光效率的外延结构及生长方法,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、N型GaN层、多量子阱层、发光量子阱层、低温P型GaN层、PAlGaN/PInGaN电流阻挡层、高温P型GaN层和P型接触层,所述PAlGaN/PInGaN电子阻挡层的生长分为九个步骤完成。本发明在外延结构L-PGaN与H-PGaN之间引入一种优化的PAlGaN/PInGaN结构层,代替通常的电子阻挡层,以进一步提高阻挡电子泄漏的效果。该结构可以使得大电流密度注入下InGaN/GaN基LED的器件性能有很大提升。 | ||
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【主权项】:
一种提高大功率GaN基LED发光效率的外延结构,其特征在于,该外延结构从下向上的顺序依次为:衬底、低温GaN缓冲层、GaN非掺杂层、N型GaN层、多量子阱层、发光量子阱层、低温P型GaN层、PAlGaN/PInGaN电子阻挡层、高温P型GaN层和P型接触层。
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