[发明专利]托盘及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的托盘及等离子体加工设备，在每个托盘的装片位上设置有进气通道，该进气通道包括边缘进气通道和中间进气通道，其中，边缘进气通道设置在装片位上，且位于装片位的靠近边缘的位置，并由沿装片位的周向间隔设置的多个边缘进气孔组成；中间进气通道设置在装片位上，且位于边缘进气通道与装片位的中心之间，并且中间进气通道包括多个中间进气孔，多个中间进气孔沿装片位的圆周方向间隔设置。本发明提供的托盘，其可以改善被加工工件的边缘区域的热交换效果，从而可以使被加工工件的边缘区域与中间区域的温度趋于均匀，进而可以提高等离子体加工设备的工艺均匀性。

主权项

一种托盘，用于承载被加工工件，并借助热交换气体对被加工工件的温度进行调节，所述托盘包括多个装片位，所述被加工工件一一对应地置于所述装片位上，并且，在每个所述装片位上设置有进气通道，热交换气体经由所述进气通道流入所述装片位和与之对应的被加工工件的下表面之间的缝隙中；其特征在于，所述进气通道包括边缘进气通道和中间进气通道，其中所述边缘进气通道设置在所述装片位上，且位于所述装片位的靠近边缘的位置，并由沿所述装片位的周向间隔设置的多个边缘进气孔组成；所述中间进气通道设置在所述装片位上，且位于所述边缘进气通道与所述装片位的中心之间，并且所述中间进气通道包括多个中间进气孔，所述多个中间进气孔沿所述装片位的圆周方向间隔设置；所述边缘进气孔的直径小于所述中间进气孔的直径。