[发明专利]在光伏器件涂覆有金属的玻璃上形成吸收层的方法和系统有效
| 申请号： | 201310084136.0 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103911586B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 邓凤山;赵应诚;杨智仁 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了在光伏器件涂覆有金属的玻璃上形成吸收层的方法和系统，其中，一种用于形成太阳能电池的装置包括限定真空室的外壳、可旋转衬底支撑件、至少一个内加热器和至少一个外加热器。衬底支撑件位于真空室内并且被配置为保持衬底。至少一个内加热器位于真空室的中心和衬底支撑件之间并且被配置为加热衬底支撑件上的衬底的背面。至少一个外加热器位于真空室的外表面和衬底支撑件之间并且被配置为加热衬底支撑件上的衬底的正面。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 涂覆有 金属 玻璃 形成 吸收 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于形成太阳能电池的装置，包括：外壳，限定真空室；可旋转衬底支撑件，位于所述真空室内，并且被配置为保持衬底，所述可旋转衬底支撑件包括多个金属柱和连接至所述多个金属柱的多个金属框，所述多个金属框中的每一个都包括至少一个固定装置，所述多个金属柱和所述多个金属框被配置为保持相应的衬底；至少一个内加热器，位于所述真空室的中心和所述可旋转衬底支撑件之间，并且被配置为加热所述可旋转衬底支撑件上的衬底的背面；至少一个外加热器，位于所述外壳和所述可旋转衬底支撑件之间，所述至少一个外加热器被配置为加热所述可旋转衬底支撑件上的衬底的正面；以及一个或多个附加加热器，连接至所述可旋转衬底支撑件中的所述多个金属框或所述多个金属柱，并且被配置为与所述可旋转衬底支撑件一起旋转并在旋转过程中加热相应的衬底。
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