[发明专利]在光伏器件涂覆有金属的玻璃上形成吸收层的方法和系统

权利要求书

1.一种用于形成太阳能电池的装置，包括：

外壳，限定真空室；

可旋转衬底支撑件，位于所述真空室内，并且被配置为保持衬底；

至少一个内加热器，位于所述真空室的中心和所述衬底支撑件之间，并且被配置为加热所述衬底支撑件上的衬底的背面；

至少一个外加热器，位于所述外壳和所述衬底支撑件之间，所述至少一个外加热器被配置为加热所述衬底支撑件上的衬底的正面。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可旋转衬底支撑件包括多个金属柱和连接至所述多个金属柱的多个金属框，所述多个金属框中的每一个都包括至少一个固定装置，所述多个金属柱和所述多个金属框被配置为保持相应的衬底。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述多个金属框被配置为保持长方形衬底，并且所述多个金属框和所述多个金属柱由选自由不锈钢、钛和钼所组成的组中的材料制成。

4.根据权利要求2所述的装置，其中，所述多个金属框中的每一个都被配置为沿着衬底的整个长度支持相应的衬底，并且通过所述多个金属框上的所述至少一个固定装置沿衬底的整个长度来保持每一个衬底边缘。

5.根据权利要求2所述的装置，其中，每一个相应的衬底均与沿着其长度的一部分与其接触的所述金属框中的相应金属框附接，并且每一个衬底边缘均通过相应金属框的选定位置上的相应固定装置来保持。

6.根据权利要求2所述的装置，进一步包括：

一个或多个附加加热器，连接至所述可旋转衬底支撑件中的所述多个金属框或金属柱，并且被配置为与所述衬底支撑件一起旋转并在旋转过程中加热相应的衬底。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述一个或多个附加加热器是被配置为发出红外线辐射的加热灯。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述可旋转衬底支撑件的形状是多边形，并且所述至少一个内加热器被配置为具有圆形形状以在旋转过程中避免所述衬底支撑件和所述至少一个内加热器之间的碰撞。

9.一种用于形成太阳能电池的装置，包括：

真空室；

具有多边形形状的可旋转衬底支撑件，位于所述真空室内，并且被配置为保持至少一个衬底；

可旋转滚筒，设置在所述真空室内，所述可旋转滚筒具有多边形形状并包括支撑梁；

至少一个溅射源，被配置为沉积相应的第一成分；

至少一个蒸发源，位于所述真空室内并且被配置为沉积第二成分；

至少一个内加热器，所述至少一个内加热器中的每一个都被配置为加热所述衬底支撑件上的相应衬底的背面；以及

至少一个外加热器，位于所述真空室的外壳和所述可旋转衬底支撑件之间，所述至少一个外加热器被配置为加热所述衬底支撑件上的衬底的正面。

10.一种用于形成太阳能电池的方法，包括：

提供固定在真空室内的可旋转衬底支撑件上的衬底，所述衬底具有正面和背面，所述正面被设置为面向所述真空室的内表面，所述可旋转衬底支撑件具有多边形的形状并且包括多个金属柱和金属框；

旋转所述衬底支撑件；

使用至少一个内加热器和至少一个外加热器同时加热所述衬底，所述内加热器面向所述衬底的背面，并且所述至少一个外加热器被配置为在旋转过程中加热所述衬底的正面。