[发明专利]电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆有效
申请号: | 201310048363.8 | 申请日: | 2013-02-06 |
公开(公告)号: | CN103243315A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 乔奇恩·克鲁格;安德烈亚斯·松阿奥尔;罗兰·格舍 | 申请(专利权)人: | 克朗斯股份公司 |
主分类号: | C23C16/507 | 分类号: | C23C16/507;C23C16/455;C23C16/04 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;孙丽梅 |
地址: | 德国新*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆。本发明涉及借助于等离子体处理来涂覆例如塑料瓶子的容器(102)的装置(100),所述装置(100)包括:至少一个高频源(109),位于待处理的容器(102)的外部的至少一个外部电极(103)以及用于将处理气体供应到容器(102)中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪(101),其特征在于,至少一个外部电极(103)接地和/或与位于待处理的容器的外部的容器涂覆装置(100)的其他部件(诸如压力室部件或壳体部件)等电位,并且所述至少一个气体喷枪(101)能够将能够由所述高频源(109)产生的高频辐照到待处理的容器(102)的内部。 | ||
搜索关键词: | 电力 喷枪 利用 高频 耦合 等离子体 增强 型涂覆 | ||
【主权项】:
借助于等离子体处理来用于涂覆例如塑料瓶子的容器(102)的装置(100),所述装置(100)包括:至少一个高频源(109)、位于待处理的所述容器(102)的外部的至少一个外部电极(103),以及用于将处理气体供应到所述容器(102)中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪(101),其特征在于,所述至少一个外部电极(103)接地和/或与位于待处理的所述容器的外部的容器涂覆装置(100)诸如压力室部件或壳体部件的其他部件等电位,并且所述至少一个气体喷枪(101)能够将能够由所述高频源(109)产生的高频辐照到待处理的所述容器(102)的内部。
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- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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