[发明专利]石英振梁加速度计及其制作方法有效
| 申请号： | 201310020857.5 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103116037A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 梁金星;张俪园;崔粟晋;孟广婵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法，该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构，其中，质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块，在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘，对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配，同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极；本发明的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高，焊盘位置、尺寸对应关系好，同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 加速度计 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种石英振梁加速度计，其特征在于：包括石英振梁(1)和质量‑挠性结构(2)；其中，质量‑挠性结构(2)包括通过挠性铰链(3)相连的底座(4)和质量块(5)，石英振梁(1)两端各设焊盘(6)和焊盘(7)，底座(4)上设焊盘(8)，质量块(5)上设焊盘(9)，焊盘(6)、焊盘(7)通过金属合金(10)分别与焊盘(8)、焊盘(9)键合装配，同时，在焊盘(6)上连接激励电极。
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