[发明专利]监控装置、监控方法及气相沉积设备

摘要

本发明公开一种监控装置、监控方法及气相沉积设备，该监控装置监控气相沉积设备中的加热单元或被加热单元的温度，该监控装置包括：温度探测单元，用于获得监控区域的探测温度；温度比较单元，用于比较任意两个监控区域的探测温度得到温度差值，并将温度差值与预设的安全温度值比较得到比较结果；报警单元，用于根据温度差值与安全温度值得到的比较结果，判断是否发出报警信号。当该监控装置监控到加热单元或被加热单元的各个监控区域的温差大于等于预设的安全温度时，第一时间发出报警信号通知使用者加热单元处于异常状态，以便使用者及时对加热单元进行维护，确保气相沉积设备的正常工作，减少产品的报废，提高了产品的良率。

主权项

一种监控装置，用于在气相沉积工艺过程中对加热单元或被加热单元进行温度监控，其特征在于，所述加热单元或被加热单元包括若干个监控区域，所述监控装置包括：温度探测单元，用于获得所述监控区域的探测温度；温度比较单元，用于比较任意两个所述监控区域的探测温度得到温度差值，并将所述温度差值与预设的安全温度值比较得到比较结果；报警单元，用于根据所述温度差值与所述安全温度值得到的所述比较结果，判断是否发出报警信号。