[发明专利]浆液及浆液的制造方法有效
申请号: | 201280051638.7 | 申请日: | 2012-10-04 |
公开(公告)号: | CN103906601B | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 北川幸司 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B27/06;B28D5/04;C09K3/14;H01L21/304 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人: | 朱健 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明是一种浆液的制造方法,其特征在于,将利用辊磨机或球磨机粉碎的磨粒的一部分或全部,利用喷射磨机进行再次粉碎,由此使上述磨粒的平均圆度为0.900以上,并将该平均圆度为0.900以上的磨粒和冷却剂混合而制造上述浆液。而且,本发明是一种浆液,其特征在于,混合在浆液中的磨粒的平均圆度为0.900以上。由此,在通过线锯的工件的切断中,即便在为了减少切口损失而使用磨粒直径比磨粒粒度号#2000的磨粒直径更小的磨粒的情况下,也能够抑制由于磨粒浓度的降低所导致的切断能力的降低,进而能够抑制由于切断质量的变差和生产率的降低所导致的成本增加。 | ||
搜索关键词: | 浆液 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种浆液,该浆液是线锯所使用的游离磨粒方式的浆液,该浆液其特征在于,混合在浆液中的磨粒的磨粒直径为比磨粒粒度号#2000的磨粒直径更小的磨粒直径,且上述磨粒的平均圆度为0.900以上,而且混合在上述浆液中的磨粒的质量浓度为50%以上。
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