[发明专利]化学机械研磨浆液回收再利用系统及其方法无效

专利信息
申请号: 201010284801.7 申请日: 2010-09-15
公开(公告)号: CN102398221A 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 黎源欣 申请(专利权)人: 亚泰半导体设备股份有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 代理人: 金利琴
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种化学机械研磨浆液回收再利用系统及其方法,其中化学机械研磨浆液回收再利用系统,包含一次性浆液储存槽、一浆液储存槽及一回收浆液供给器,其中一次性浆液储存槽系储存化学机械研磨机以新浆液进行进阶研磨所产生的一次性浆液。浆液储存槽储存由化学机械研磨机以回收浆液进行基础研磨后所产生的多次性浆液,回收浆液供给器接受一次性浆液及多次性浆液,并混合一次性浆液及多次性浆液产生回收浆液,以供化学机械研磨机使用回收浆液,进而达到节省新浆液的使用量、降低成本及环保的目的。
搜索关键词: 化学 机械 研磨 浆液 回收 再利用 系统 及其 方法
【主权项】:
一种化学机械研磨浆液回收再利用的装置,其特征在于:包含一回收浆液供给器,其供应并储存一化学机械研磨机于基础研磨所需的回收浆液;一新浆液供给器,其供应所述化学机械研磨机于精密研磨所需的新浆液;一一次性浆液储存槽,其连结所述化学机械研磨机以及所述回收浆液供给器,用以容置所述化学机械研磨机使用新浆液对标的物进行精密研磨所产生的一次性浆液;一浆液储存槽,其连结所述化学机械研磨机以及回收浆液供给器,用以容置所述化学机械研磨机使用回收浆液对标的物进行基础研磨的多次性浆液;其中,回收浆液由一次性浆液及多次性浆液组成,且所述浆液储存槽内无储存多次性浆液时,该一次性浆液储存槽提供一次性浆液予所述回收浆液供给器。
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  • 本实用新型公开了一种扫光机的真空排水装置,包括真空罐和储水罐,所述真空罐的上端的中部设有第一进液口,所述真空罐上端面的两侧分别设有进气口和排气口,所述真空罐的下端面的中心连通有第一排液口,所述储水罐的上端连通有第二进液口,所述储水罐上端面的一侧连通有吹气口,所述储水罐的下端面中心连通有第二排液口,所述第二排液口的下端连接有弯管,所述弯管的另一端连接有止回阀,所述真空罐的第一排液口与储水罐的第二进液口之间通过气动角座相连通。本实用新型在使用的过程中能够实现水和呈液体的抛光介质组成的混合液在工件抛光研磨过程中的快速加注,且整个加注过程中的操作较为方便,使得整个真空排水装置有利于进行使用。
  • 一种金属加工抛光机的自动涂蜡装置-201910201850.0
  • 宋雍 - 长兴智轩机械科技有限公司
  • 2019-03-18 - 2019-05-31 - B24B57/02
  • 本发明公开了一种金属加工抛光机的自动涂蜡装置,包括机身,机身的一侧外壁上通过螺栓固定连接有第一支撑架,另一侧外壁上通过螺栓固定连接有第二支撑架,第一支撑架的一侧外壁上通过螺栓固定连接有第一电机,第一电机的一端通过转轴转动连接有主动滚筒,第二支撑架的一侧外壁上设置有从动滚筒,从动滚筒与主动滚筒之间设置有传送带,本发明通过将蜡进行水浴加热使其融化,从而通过将蜡液全方位的喷涂在工件上,一方面保证了工件表面全方位的涂蜡,保证工件在不规则形状上依然可以实现涂蜡,提高涂蜡适用性,另一方面保证了工件表面涂蜡的均匀性,避免通过蜡棒涂蜡造成无法涂抹均匀的问题,提高涂蜡的质量。
  • 研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备-201821700687.X
  • 田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
  • 2018-10-19 - 2019-05-31 - B24B57/02
  • 本实用新型公开了一种研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备,研磨液过滤系统包含:主管路,其一端作为研磨液供给端,其另一端作为研磨液输出端;过滤器,安装于主管路上;第一阀门,用于控制是否供应研磨液,安装于主管路上,且位于过滤器与研磨液供给端之间;以及清洗装置,用于向过滤器提供冲洗物质以排出过滤器中残存的研磨液,与第一阀门与过滤器之间的主管路相连接。本实用新型能够在更换过滤芯作业前,消除过滤芯中残存研磨液,具有降低处理过滤芯的安全风险的优点。
  • 一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置-201821727110.8
  • 肖学才;方明喜;常强 - 爱利彼半导体设备(中国)有限公司
  • 2018-10-24 - 2019-05-24 - B24B57/02
  • 本实用新型涉及一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置,包括原液储存罐、去离子水储存罐、抛光液供给罐,所述抛光液供给罐的上部设置有盖体,所述盖体上设置有搅拌电机,所述搅拌电机的输出轴穿过所述盖体与抛光液供给罐内的搅拌轴相连接,所述搅拌轴上均匀间隔设置有多组搅拌叶片,其中至少一组所述搅拌叶片朝下倾斜设置;所述抛光液供给罐内设置有水位计、温度传感器、抛光液浓度传感器,所述抛光液供给罐内侧底壁上设置有电加热器;所述抛光液供给罐的外壁还紧密缠绕有制冷盘管。本实用新型能够准确高效的向化学机械抛光设备提供合适浓度、合适温度的抛光液,确保化学机械抛光设备的长时间稳定运行,提高抛光效率。
  • 一种抛光液盛载流通槽-201821383324.8
  • 刘江;张文斌 - 深圳市五力波智能装备有限公司
  • 2018-08-23 - 2019-05-21 - B24B57/02
  • 本实用新型涉及一种抛光液盛载流通槽,其包括本体。本实用新型中的本体的上方设开口,本体的侧壁板及下底板形成抛光液的盛载空间;工件位于该盛载空间时,所述侧壁板的高度始终高于工件的高度;侧壁板和/或下底板上开设抛光液进入孔,侧壁板和/或下底板上开设抛光液流出孔。以上结构中,抛光液通过抛光液进入孔进入本体形成的盛载空间,在抛光头对本体中的工件进行抛光时,工件始终浸没在抛光液中被颗粒状抛光剂作用,打开抛光液进入孔与抛光液流出孔,本体中的抛光液不断流通更新,控制流速使流出本体的抛光液的流量不大于流入本体的抛光液的流量,工件始终浸没在抛光液中,抛光液的利用效率提高。
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