[实用新型]一种硅片的加工夹具有效
| 申请号： | 201220742111.6 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN203062494U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，所述夹紧板上设有弹性垫片，由于所述夹紧板上设有弹性垫片，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，夹紧板与硅片之间通过弹性垫片缓冲，避免硅片由于硬接触而损坏，提高了硅片的成品率且本实用新型结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 加工 夹具 | ||
【主权项】：
一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，其特征在于，所述夹紧板上设有弹性垫片。
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