[实用新型]一种匹配器及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201220524313.3 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN202905659U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙岩 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种匹配器及等离子体加工设备，包括电流调节网络，所述电流调节网络用于调节射频电源输入感应线圈内的电流，所述电流调节网络包括：n个固定电容和n个通断控制器，其中，第m个所述固定电容与第m个所述通断控制器串联形成第m个电容网络单元，将n个所述电容网络单元并联获得电容并联网络，将n个所述通断控制器选择性地导通而调节所述电容并联网络的电容值，从而调节所述感应线圈内的电流，其中，n为大于2的整数，m为1至n之间的整数。该匹配器调节电流的时间短，匹配器效率高，而且使用寿命长，运行低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配器 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种匹配器，包括电流调节网络，所述电流调节网络用于调节射频电源输入感应线圈内的电流，其特征在于，所述电流调节网络包括：n个固定电容和n个通断控制器，其中，第m个所述固定电容与第m个所述通断控制器串联形成第m个电容网络单元，将n个所述电容网络单元并联获得电容并联网络，将n个所述通断控制器选择性地导通而调节所述电容并联网络的电容值，从而调节所述感应线圈内的电流，其中，n为大于2的整数，m为1至n之间的整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220524313.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
