[实用新型]MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带有效
| 申请号： | 201220523422.3 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN203133187U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | M·阿佐帕迪;C·卡奇雅;S·波兹 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;意法半导体(马耳他)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本申请涉及MEMS器件以及设计用于经历测试操作的MEMS器件的条带。更具体地，本申请涉及一种设计用于经历测试操作的MEMS器件(1)的条带(10)，其中所述MEMS器件(1)至少包括耦合至共同的基板(3)的内部表面(3a)并且由保护材料(5)覆盖的半导体材料的相应裸片(6；7)，并且其中邻接的MEMS器件(1)在所述条带(10)中至少部分地分隔；其特征在于，其包括在所述邻接的MEMS器件(1)之间的分隔沟槽(14)，所述分隔沟槽(14)延伸穿过所述保护材料(5)的整个厚度并且穿过所述基板(3)的、从其所述内部表面(3a)开始的表面部分。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 以及 设计 用于 经历 测试 操作 条带 | ||
【主权项】：
一种设计用于经历测试操作的MEMS器件(1)的条带(10)，其中所述MEMS器件(1)至少包括耦合至共同的基板(3)的内部表面(3a)并且由保护材料(5)覆盖的半导体材料的相应裸片(6；7)，并且其中邻接的MEMS器件(1)在所述条带(10)中至少部分地分隔；其特征在于，其包括在所述邻接的MEMS器件(1)之间的分隔沟槽(14)，所述分隔沟槽(14)延伸穿过所述保护材料(5)的整个厚度并且穿过所述基板(3)的、从其所述内部表面(3a)开始的表面部分。
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