[实用新型]一种曝光机对位系统XYY机构有效
| 申请号： | 201220465798.3 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN202886839U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 袁强;刘长征 | 申请（专利权）人： | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人： | 刘林 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机对位系统XYY机构，包括对位模组固定板、运动板、X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置，X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置分别与对位模组固定板、运动板活动连接，还包括X方向动力装置、第一Y方向动力装置和第二Y方向动力装置，X方向动力装置带动X方向移动装置沿X方向往复运动，X方向移动装置带动运动板沿X方向往复移位，第一Y方向动力装置带动第一Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第一Y方向移动装置带动运动板沿Y方向往复移位，第二Y方向动力装置带动第二Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第二Y方向移动装置带动运动板沿Y方向往复移位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 对位 系统 xyy 机构 | ||
【主权项】：
一种曝光机对位系统XYY机构，其特征在于：包括对位模组固定板、运动板、X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置，X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置分别与所述对位模组固定板、所述运动板活动连接，还包括设置在所述对位模组固定板上的X方向动力装置、第一Y方向动力装置和第二Y方向动力装置，X方向动力装置带动X方向移动装置沿X方向往复运动，X方向移动装置带动所述运动板沿X方向往复移位，第一Y方向动力装置带动第一Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第一Y方向移动装置带动所述运动板沿Y方向往复移位，第二Y方向动力装置带动第二Y方向移动装置沿Y方向往复运动，第二Y方向移动装置带动所述运动板沿Y方向往复移位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市海圣光电科技有限公司，未经东莞市海圣光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220465798.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：手表机芯连接轮定位结构
- 下一篇：卡箱回收设备异常行为监测装置
