专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种单面光刻机-CN202122620444.3有效
  • 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 - 四川鸿源鼎芯科技有限公司
  • 2021-10-28 - 2022-05-27 - G03F7/20
  • 本实用新型属于光刻机技术领域,公开了一种单面光刻机,包括机架,机架上安装有升降单元、曝光台和曝光机构,升降单元位于曝光台下方,升降单元的自由端安装有XYY平台,XYY平台的自由端上滑动安装有承片台;曝光机构位于曝光台上方使用时人工将硅片放置在承片台并推入,XYY平台实现自动找平,然后升降单元驱动XYY平台上升到位后,摄像头通过图像识别确定对位成功后,曝光机构进行曝光,曝光结束后升降单元驱动XYY平台下降归位,人工将承片台从XYY平台上拉出,将曝光后的硅片取出即可。
  • 一种单面光刻
  • [发明专利]一种双面光刻机工件台-CN202111284491.3在审
  • 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 - 四川鸿源鼎芯科技有限公司
  • 2021-11-01 - 2021-12-21 - G03F7/20
  • 本发明属于光刻机技术领域,公开了一种双面光刻机工件台,包括XYY平台、固定安装在XYY平台上的下安装台以及位于下安装台上方的上安装台,上安装台安装在升降机构上,上安装台上安装有上掩膜版,下安装台上安装有下掩膜版;XYY平台和下安装台之间设有摄像头。本发明所提供的双面光刻机工件台,XYY平台先自动找平,然后上安装台下降直到上安装台和下安装台贴合,贴合后通过摄像头对上掩膜版和下掩膜版进行对位识别,如果没有对位成功,则通过XYY平台对下安装台进行微调直到对位成功
  • 一种双面光刻机工
  • [实用新型]一种双面光刻机工件台-CN202122662473.6有效
  • 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 - 四川鸿源鼎芯科技有限公司
  • 2021-11-01 - 2022-05-27 - G03F7/20
  • 本实用新型属于光刻机技术领域,公开了一种双面光刻机工件台,包括XYY平台、固定安装在XYY平台上的下安装台以及位于下安装台上方的上安装台,上安装台安装在升降机构上,上安装台上安装有上掩膜版,下安装台上安装有下掩膜版;XYY平台和下安装台之间设有摄像头。本实用新型所提供的双面光刻机工件台,XYY平台先自动找平,然后上安装台下降直到上安装台和下安装台贴合,贴合后通过摄像头对上掩膜版和下掩膜版进行对位识别,如果没有对位成功,则通过XYY平台对下安装台进行微调直到对位成功
  • 一种双面光刻机工
  • [实用新型]一种单面自动光刻机-CN202122620374.1有效
  • 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 - 四川鸿源鼎芯科技有限公司
  • 2021-10-28 - 2022-05-27 - G03F7/20
  • 公开了一种单面自动光刻机,包括机架,机架上设有可圆周转动的机械臂,机械臂的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位,上料工位处设有上料盒,预对位工位处设有预对位装置,对位工位处设有XYY平台、承片台、升降单元和曝光机构,NG工位处设有NG料盒,下料工位处设有下料盒;XYY平台安装在升降单元的自由端上,承片台安装在XYY平台的自由端上,曝光机构位于承片台上方。
  • 一种单面自动光刻

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