[实用新型]一种实现局域寿命控制的IGBT有效
申请号: | 201220427314.6 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN202839616U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 吴海平;秦博;肖秀光 | 申请(专利权)人: | 宁波比亚迪半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315800 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种实现局域寿命控制的IGBT,该IGBT包括集电区,在集电区之上形成有缓冲层,在缓冲层之上形成有漂移区,在集电区与漂移区之间形成有至少一层低寿命高复合层,该低寿命高复合层内具有复合中心,能够降低载流子的寿命,在漂移区内形成有阱区,在阱区内形成有发射区,在漂移区之上依次形成有栅介质层、栅极、隔离层和发射极,在集电区之下形成有集电极。本实用新型在集电区与漂移区之间形成有至少一层低寿命高复合层,该低寿命高复合层可以复合器件通态时产生的大量过剩载流子,提高复合电流,减小集电区空穴注入,从而降低关断拖尾时间,达到降低开关时间、开关损耗的目的,并提高器件抗闩锁能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 局域 寿命 控制 igbt | ||
【主权项】:
一种实现局域寿命控制的IGBT,其特征在于,包括:集电区,所述集电区为重掺杂;在所述集电区之上形成有缓冲层,所述缓冲层为重掺杂,其导电类型与所述集电区的导电类型相反; 在所述缓冲层之上形成有漂移区,所述漂移区为轻掺杂,其导电类型与所述集电区的导电类型相反;在所述集电区与所述漂移区之间形成有至少一层低寿命高复合层,所述低寿命高复合层内具有复合中心;在所述漂移区内形成有阱区,在所述阱区内形成有发射区,所述阱区的导电类型与所述集电区的导电类型相同,所述发射区为重掺杂,其导电类型与所述集电区的导电类型相反;在所述漂移区之上依次形成有栅介质层、栅极、隔离层和发射极;在所述集电区之下形成有集电极;所述漂移区、集电区和缓冲层为单晶硅。
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