[实用新型]一种干膜曝光对位装置有效
| 申请号： | 201220400610.7 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN202815413U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 冉彦祥;孟昭光 | 申请（专利权）人： | 东莞市五株电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 514071 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种干膜曝光对位装置，包括上菲林和下菲林，所述上菲林和所述下菲林的一边粘结在一起形成活页夹结构，所述上菲林和所述下菲林上分别设置有对位靶标，所述对位靶标为圆环形，且所述对位靶标的圆环内包括两个顶角相对的三角区。本实用新型的干膜曝光对位装置具有结构简单、制作方便、提高对位效率和提高干膜曝光对位的准确度等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 对位 装置 | ||
【主权项】：
一种干膜曝光对位装置，其特征在于，包括上菲林和下菲林，所述上菲林和所述下菲林的一边粘结在一起形成活页夹结构，所述上菲林和所述下菲林上分别设置有对位靶标，所述对位靶标为圆环形，且所述对位靶标的圆环内包括两个顶角相对的三角区。
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