[实用新型]提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件

摘要

本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接；靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封；本实用新型具有的有益效果是：卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板（靶材快要烧蚀穿的时候才用）和靶材伸缩套形成的连接方式，省却了在靶材上加工大直径螺纹（螺纹约占靶材厚度的30%左右）的弊端，提高了靶材利用率。

主权项

提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材（1）和磁环调节杆（22）以及磁环（23），其特征在于，磁环（23）固定在磁环调节杆（22）上，磁环调节杆（22）内有供冷却水通过的中空结构，磁环（23）的前端是靶材（1）；螺纹法兰(4)和靶材伸缩套(13)用螺纹连接并用定位螺钉(5)定位，将弹性卡圈(3)套入靶材(1)的凹槽中然后将卡套螺母(2)套在弹性卡圈(3)上与螺纹法兰(4)相连接；靶材（1）与靶材伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（6）密封；调节螺母（14）与固定螺纹座（12）的啮合连接；磁环调节杆（22）的中空结构分别与出水嘴（16）和进水管相通；出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间设有冷却水端盖（15）；且出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间通过橡胶密封圈（17）密封；密封圈压板（19）通过内六角螺钉（18）固定在冷却水端盖（15）上；且密封圈压板（19）和冷却水端盖（15）之间通过V型密封圈（20）密封。