[实用新型]提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件

权利要求书

1.提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材（1）和磁环调节杆（22）以及磁环（23），其特征在于，磁环（23）固定在磁环调节杆（22）上，磁环调节杆（22）内有供冷却水通过的中空结构，磁环（23）的前端是靶材（1）；螺纹法兰(4)和靶材伸缩套(13)用螺纹连接并用定位螺钉(5)定位，将弹性卡圈(3)套入靶材(1)的凹槽中然后将卡套螺母(2)套在弹性卡圈(3)上与螺纹法兰(4)相连接；靶材（1）与靶材伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（6）密封；调节螺母（14）与固定螺纹座（12）的啮合连接；磁环调节杆（22）的中空结构分别与出水嘴（16）和进水管相通；出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间设有冷却水端盖（15）；且出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间通过橡胶密封圈（17）密封；密封圈压板（19）通过内六角螺钉（18）固定在冷却水端盖（15）上；且密封圈压板（19）和冷却水端盖（15）之间通过V型密封圈（20）密封。

2.如权利要求1所述的提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，其特征在于，磁环调节杆（22）与磁环（23）活动配合连接。

3.如权利要求1或2所述的提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，其特征在于，靶材（1）设有的凹槽，凹槽中的卡簧（3）和螺纹卡套（2）将靶材（1）与螺纹法兰（4）连接；而螺纹法兰（4）和螺纹伸缩套（13）采用螺纹副和定位螺钉（5）连接；靶材（1）和螺纹伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（5）密封。