[实用新型]电容式MEMS器件微弱电容的检测装置

摘要

本实用新型涉及电容式MEMS器件微弱电容的检测装置。所述微弱电容检测装置包括激励信号发生器、电荷放大器、隔直放大器、高通滤波器、模拟开关模块、低通滤波器、调制方波发生器。电荷放大器将MEMS器件检测端得到的电荷分量转换为检测电压，隔直放大器方法检测电压幅值后，高通滤波器滤去检测电压中由于电容效应耦合得到的电压分量，模拟开关模块对处理后的检测电压进行解调得到静态电容对应的直流电压分量，低通滤波器对模拟开关模块的输出信号低通滤波得到动态电容对应的交流电压分量。所述电容式MEMS器件微弱电容的检测装置：电路结构简单，输出响应的谐波小，信噪比高，在同频干扰下同时测量动静态微弱电容以及静态电容。

主权项

电容式MEMS器件微弱电容的检测装置，其特征在于包括：激励信号发生器、电荷放大器、隔直放大器、高通滤波器、模拟开关模块、低通滤波器、调制方波发生器，其中：所述激励信号发生器的输出端与电容式MEMS器件的驱动端连接，所述调制方波发生器的第一输出端与电容式MEMS器件振梁的一端连接，调制方波发生器的第二输出端与模拟开关模块的第一输入端连接，所述电荷放大器的输入端与电容方式MEMS器件的检测端连接后依次与隔直放大器、高通滤波器连接，所述高通滤波器的输出端与模拟开关模块的第二输入端连接，所述模拟快关模块的输出端与低通滤波模块的输入端连接，所述低通滤波器的输出端输出带直流偏置的交流电压信号。