[发明专利]一种衬底图形化的倒装LED芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201210579025.2 申请日: 2012-12-28
公开(公告)号: CN103904182A 公开(公告)日: 2014-07-02
发明(设计)人: 彭翔;赵汉民;张璟;傅建华 申请(专利权)人: 晶能光电(常州)有限公司
主分类号: H01L33/20 分类号: H01L33/20;H01L33/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213164 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种衬底图形化的倒装LED芯片及其制备方法。本发明对倒装芯片的蓝宝石衬底进行了图形化处理,增加了芯片出光面积,从而提高了芯片的发光效率。其制备过程为:先在蓝宝石衬底上制备InGaAlN多层结构,然后对倒装芯片蓝宝石衬底背面进行减薄、抛光、涂光刻胶、光刻以及刻蚀处理,形成蓝宝石衬底图形化形状为三棱锥行、倒圆锥形或半球形等任意常见的规则图案的倒装LED芯片器件。
搜索关键词: 一种 衬底 图形 倒装 led 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
一种倒装LED芯片,包括用于出光的蓝宝石衬底,在所述蓝宝石衬底上形成的InGaAlN多层结构,其特征在于:所述倒装LED芯片的蓝宝石衬底表面进行了图形化刻蚀。
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