[发明专利]一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺有效
| 申请号： | 201210562144.7 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103048784A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 陈巧;谢会开;丁金玲 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺，其中无源驱动MEMS光开关包括镜体（1）、镜体边框（2）和还包括磁性件（3），镜体（1）通过弹性连接件（4）与镜体边框（2）相连接，磁性件（3）设置在镜体（1）的背面；本发明设计的无源驱动MEMS光开关结构简单、易于实现，取消了通电驱动的方式，具有很高的安全性；本发明针对无源驱动MEMS光开关的加工工艺采用了MEMS加工工艺，保证了产品的成品率，而且实现了批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无源 驱动 mems 开关 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种无源驱动MEMS光开关，包括镜体（1）和镜体边框（2），其特征在于：还包括磁性件（3），镜体（1）通过弹性连接件（4）与镜体边框（2）相连接；磁性件（3）设置在镜体（1）的背面。
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