[发明专利]一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管有效
申请号: | 201210499580.4 | 申请日: | 2012-11-29 |
公开(公告)号: | CN102983157A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 蔡世星;邱勇;黄秀颀;平山秀雄;李建文;习王峰;郭瑞 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
主分类号: | H01L29/49 | 分类号: | H01L29/49;H01L21/28;H01L29/786 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 彭秀丽 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管,其中,铝栅极,包括铝栅极本体和覆盖在所述铝栅极本体的外表面和侧壁上的盖层,盖层由热涨系数小于20的金属制备而成。由于金属盖层选择热涨系数小于20的金属,在高温时,不容易发生膨胀,当铝栅极本体发生膨胀时,产生的压缩应力被金属盖层吸收,能够防止铝栅极本体表面或者表面和侧壁发生小丘和腐蚀现象,防止栅极与源极、漏极及其引线短路。 | ||
搜索关键词: | 一种 栅极 及其 制备 方法 包括 薄膜晶体管 | ||
【主权项】:
一种铝栅极,包括:铝栅极本体,形成于基板上;第一盖层(1),设置于所述铝栅极本体上与所述基板相对位置的上表面上;其特征在于:还包括包覆于所述铝栅极本体四周的第二盖层(7),且所述第二盖层(7)与所述第一盖层(1)之间无缝相接;所述第一盖层(1)和所述第二盖层(7)由热涨系数小于20的金属制备而成。
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